 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
FGL系列双温区-管式梯度炉(T max 1700℃和T max 1400℃) FGL系列双温区-管式梯度炉专门设计用于有温度梯度要求的CVD工艺。两个温区独立控制，温区可单独使用。在同一腔体内实现不同的温度差。 特点 u 程序控温仪控制精准、可编辑、储存并调用多段程序 u 炉壳结构，双层炉壳风冷结构 u 采用不锈钢双层密封法兰，进、出气配美标针阀 u 两端可调节式法兰支撑结构 u 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电 u LED高强度抗破坏全不锈钢按钮
拓展选件: u炉内测量系统：（氧含量测量系统、温度测量系统） u真空系统：（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组） u气氛系统：（浮子流量计、质量流量计） u监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）
技术参数：
注：给出的温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。
网址： www.facerom.com 销售热线：0551-68998684 ，13966718548 方先生
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 查看次数： | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Copyright © 2012-2023 合肥费舍罗智能装备有限公司 All Rights Reserved
皖ICP备2021015453号-1 技术支持：众维科技
皖公网安备 34012302001011号
