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FGL系列双温区-管式梯度炉(T max 1700℃和T max 1400)

FGL系列双温区-管式梯度炉专门设计用于有温度梯度要求的CVD工艺。两个温区独立控制,温区可单独使用。在同一腔体内实现不同的温度差。

特点

u 程序控温仪控制精准、可编辑、储存并调用多段程序

u 炉壳结构,双层炉壳风冷结构

u 采用不锈钢双层密封法兰,进、出气配美标针阀

u 两端可调节式法兰支撑结构

u 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电

u LED高强度抗破坏全不锈钢按钮


拓展选件:

u炉内测量系统:(氧含量测量系统、温度测量系统)

u真空系统:(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组)

u气氛系统:(浮子流量计、质量流量计)

u监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控)


技术参数:

设备型号

设计

使用温度

管径

/低温区长度

热偶

电压

功率

FGL-50/17/2

1700

高温区温度

1000-1600

低温区温度

RT-1000

50mm

200/200mm

B/S

220V

6.0KW

FGL-60/17/2

1700

60mm

200/200mm

B/S

220V

FGL-70/17/2

1700

70mm

200/200mm

B/S

220V

FGL-80/17/2

1700

80mm

200/200mm

B/S

220V

FGL-50/14/2

1400

高温区温度

RT-1300

低温区温度

RT-1000

50mm

200/200mm

S/K

220V

9.0KW

FGL-60/14/2

1400

60mm

200/200mm

S/K

220V

FGL-70/14/2

1400

70mm

200/200mm

S/K

220V

FGL-80/14/2

1400

80mm

200/200mm

S/K

220V

注:给出的温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。


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邮箱:sales@facerom.com


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